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SGC-10 薄膜测厚仪

SGC-10 薄膜测厚仪

- 仪器先容

  SGC-10薄膜测厚仪,合用于介质,半导体,薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度丈量。该薄膜测厚仪,是我公司与美国new-span公司协作研制的,接纳new-span公司进步前辈的薄膜测厚手艺,基于白光干与的道理来测定薄膜的厚度和光学常数(折射率n,消光系数k)。经由过程阐发薄膜外表的反射光和薄膜与基底界面的反射光相关构成的反射谱,用软件来拟合运算,获得单层或多层膜系各层的厚度d,折射率n,消光系数k。该装备关头部件均为外洋入口,也可按照客户须要零件入口。

- 壮大的软件功效

  界面友爱,操纵简洁,用户点击几下鼠标便能够实现丈量。便利疾速的保管、读取丈量获得的反射谱数据数据处置功效壮大,可同时丈量多达四层的薄膜的反射率数据。一次丈量便可获得四层薄膜别离的厚度和光学常数等数据。资料库中包罗了大批惯例的资料的光学常数数据。用户能够很是便利地自行扩大资料数据库。

- 产物功效合用性

  该仪器合用于多种介质,半导体,薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度丈量。





- 典范的薄膜资料为

SiO2、CaF2、MgF、光刻胶、多晶硅、非晶硅、SiNx、TiO2、聚酰亚胺、高份子膜。

- 典范的基底资料为

SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、铝丙烯酸、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

仪器具备开放性设想,仪器的光纤探头可很便利地掏出,经由过程仪器附带的光纤适配器(如图所示)毗连到带C-mount合用于微区(>10μm,与显微镜缩小率有关)薄膜厚度的显微镜(显微镜需另配),便能够使本丈量仪丈量。

- 根基设置装备摆设及参数

 
 
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